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    BPS型瑞士Levitronix流量控制器專為微電子濕式應(yīng)用中精細流體的超純處理而設(shè)計?；谥鲃哟艖腋。萌~輪懸浮并由電機磁場驅(qū)動。寬間隙確保運動部件之間沒有機械接觸，因此不會磨損。沒有軸承磨損或密封件損壞。

葉輪和外殼均由耐化學(xué)腐蝕的高純度含氟聚合物樹脂制成。通過電子調(diào)節(jié)葉輪速度來精確控制流體流量和壓力。

   BPS型瑞士Levitronix流量控制器優(yōu)勢如下：

事實

由于止回閥、波紋管或隔膜等運動部件的機械接觸而產(chǎn)生的摩擦?xí)?dǎo)致磨損。磨損會導(dǎo)致顆粒脫落，從而導(dǎo)致晶圓缺陷。

測試條件

對來自四個不同制造商的十臺泵在多種測試條件下運行期間的超純水中顆粒脫落情況進行了評估。選擇測試條件以便可以在典型操作條件下對組中的所有泵進行比較。

結(jié)果

無論泵的運行條件如何， Levitronix ®泵在所有評估的泵中始終排出最少的顆粒。在所有測試中，Levitronix ®泵下游測得的顆粒濃度非常接近系統(tǒng)中沒有測試泵時測得的濃度。

東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。